|
 |
Бесконтактный измерительный сортирующий прибор MX 202
для измерения толщины, сопротивления, TTV, прогиба, коробления и типа проводимости кремниевых пластин
Из-за их высокой надежности и пропускной способности, сортировщики E+H - лучший выбор для сортировки пластин между различными стадиями производства (после резки, после полировки).
> 500 w/h (8")
> 700 w/h (6")
Они также используются, чтобы контролировать деформацию (коробление) через различные шаги процесса в производстве микросхем.
Сортировщики E+H доступны в трех версиях, покрывающих диапазон пластин от 2" до 200 миллиметров.
|
1. Описание
Они состоят из отдельного модулей измерения и обработки. У каждого модуля есть своя собственная независимая транспортная система пластин, включая двигатель степпера, ремни, пояса и система датчиков, чтобы обнаружить и остановить пластину когда это необходимо. Основной микропроцессор в сортировщике управляет всеми этими модулями и передает исходные данные на PC.
2. Основанные параметры, которые измеряет и обрабатывает программное обеспечение PC:
Толщины (толщина по центру, средняя, мин., макс., TTV)
Основные параметры плоскостности (макс. Отрицательное локальное отклонение от плоскости, макс. Положительное локальное отклонение от плоскости, неплоскостность)
Деформация (поклон-bf, максимальная отрицательная деформация. максимальный на месте продажи деформируют. полная деформация)
Удельное сопротивление (удельное сопротивление по центру, удельное сопротивление на расстоянии r/2, градиенте удельного сопротивления),
Тип Проводимости (P/N)
В начале транспортного пути есть от одного или до четырех подающих модулей (лифты). Фактически один активный автоматический модуль перемешает пластины непосредственно прямо в первую станцию измерения. Таким образом, пластины не должны изменить транспортное направление.
3. Доступные модули измерения:
T модуль толщины, сосредоточенный только на толщине
G модуль геометрии и толщины
R модуль удельного сопротивления (нуждается в T или G для вычисления удельного сопротивления),
P/N тип (произвольно интегрированный в R)
Чтобы собрать отсортированные пластины, есть две противоположных пары модулей приемника пластин (лифты), всего возможно установление до 24 при?мников.
Между каждой парой противоположных модулей приемника есть транспортный модуль, названный выключателем пластин, который или перемещает пластины в приемник левой или правой стороны, или продвигает их к следующему выключателю.
Основа сортировщика состоит из жесткого стола, составленного из алюминиевых элементов, покрытых 15 мм толстой алюминиевой пластиной. Все модули установленные на этой пластине являются легко съемными.
19 электронных стоек, электропитания и кабели расположены ниже той поверхности стола. Сортировщик может быть легко демонтирован для транспорта. Его опоры изменяемой высотой.
4. Поставляемое Программное обеспечение:
Программы Обслуживания, позволяющие проверить механические функции и датчики положения независимо каждого модуля.
Калибровка / рекалибровка - программы быстрой проверки для каждого модуля измерения.
Программа, сортирующая пластины автоматически согласно специальным файлам установки, которые называют рецепторами. Они могут быть изменены
пользователем согласно его потребностям. Они содержат информацию такую как
o какая геометрия пластины и особенности удельного сопротивления должны быть вычислены
o какие пределы сортировки установлены для каждого класса сортировки
o какие модули приемника назначены для каждого класса сортировки
У программы есть много окон вывода данных на экран:
все параметры в настоящее время измеренной партии
все измеренные и вычисленные особенности пластины
вся толщина - и местная деформация оценивает в соответствующие положения датчика
статистическая информация
Сообщения, предупреждения, ошибки
5. Измерительная станция
Измерительная станция состоит из верхней и нижней измерительных головок. Транспортные ремни перемещают пластину в воздушное пространство шириной 2.5 мм между головами измерения, легкая система контроля перемещения обнаруживает и останавливает пластину в модуле, после чего ремни опускаются и пластина ложится на три точки покоя во время измерения.
Этот хорошо известный способ положения пластины на 3-х точках, во время измерения позволяет обеспечить математическую поправку силы тяжести согласно SEMI M1.
В каждой голове измерения станции есть до 37 емкостных датчиков. Они включенный в стальную пластину 20 мм толщиной.
Система автоматически просматривает пластину, выполняя одно измерение на расстоянии датчика в нижней голове, следую к другим от противоположного датчика в главной голове. Число пар датчиков, используемых, чтобы последовательно просмотреть всю пластину, зависит от диаметра пластины: 5 с 2" пластинами и 37 с 200-миллиметровыми пластинами. |
