EBARA Precision Machinery Europe GmbH

Серия ESR - это многоступенчатые сухие вакуумные насосы типа Рут, специально разработанные для применения в технологических процессах, таких как: высокотемпературная обработка, осаждение тонких пленок (PVD-процессы) и ионно-плазменное травление, откачка вакуумных камер большого объема, а также и других процессах связанных с откачкой чистых сред и сред со средним уровнем загрязнения. Насосы серии ESR высокой производительности имеют дополнительную ступень в виде встроенного сухого бустерного двухроторного насоса. Насосы серии ESR обладают быстротой действия от 78 до 2760 м3/ч. Нужно отметить, что насосы серии ESR имеют очень низкую стоимость владения за счет использования многоступенчатой конструкции с применением двигателей постоянного тока и интеллектуальной системы управления двигателем. Эти усовершенствования позволяют снизить потребление электроэнергии, охлаждающей воды и азота по сравнению с насосами, работающими на двигателях переменного тока. Интеллектуальная система управления позволяет настраивать насос на определенную степень вакуума, а также на переход в режим ожидания, когда насос не используется. Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Для откачки агрессивных и ядовитых газов используется встроенная система продувки азотом (с экономичным расходом). Очень высокая химическая стойкость деталей проточной части насосов обеспечивается использованием запатентованных сплавов с высоким содержанием никеля.

Сухие вакуумные насосы EBARA имеют целый ряд неоспоримых преимуществ, что позволяет их считать наиболее оптимальным средством откачки в самых ответственных процессах.

Преимущества:

• Самая низкая стоимость владения в своем классе
• Компактная конструкция
• Широкий диапазон производительностей
• Использование высокотехнологичных бесщеточных двигателей постоянного тока
• Интеллектуальная система управления
• Насосы имеют международные сертификаты: ЕС, Национальной Поверочной Лаборатории полупроводников, Международной организации полупроводникового оборудования и материалов S2 и подходят для использования в чистых помещениях

Сухие насосы EBARA серии ESA предназначены для откачки незагрязненных сред и специальных применений. Насосы спроектированы для работы в условиях высокой газовой нагрузки и высокой быстроты действия. Насосы серии ESA обладают быстротой действия от 150 до 3000 м3/ч.

Модели ESA25-D, ESA75W-D и ESA200W специ-ально спроектированы для откачки в процессах с повышенным содержанием водорода, а 3-х ле-пестковая конструкция многоступенчатого насоса Рут позволяет предотвратить обратное натекание водорода в откачиваемый объем. Модели ESA300W и ESA500W идеально подходят для откачки загрузочных камер большого объема и откачки систем производства жидкокристаллических панелей.

Преимущества:

• Высокопроизводительный базовый насосе возможностью регулирования частоты вращения
• Высокая скорость откачки, даже в диапазоне давлений, близких к атмосферному
• Использование высокотехнологичныхбезщеточных двигателей постоянноготока
• Интеллектуальная система управления
• Возможность работы насоса при высокихтемпературах для предотвращения конденсации
• Низкий уровень шума и вибраций
• Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды
• Режим ожидания для экономии электроэнергии

Сухие насосы EBARA серии EST предназначены для откачки загрязненных сред, в том числе со­держащих мелкодисперсные частицы. Уникаль­ная запатентованная двухступенчатая винтовая конструкция в комбинации с бустерным насосом типа Рут обеспечивает работу таких насосов в ши­роком диапазоне быстроты действия. Насосы из­готовлены из специального сплава с высоким со­держанием никеля NiResist, что позволяет ис­пользовать такие насосы в процессах откачки аг­рессивных сред. Диапазон производительностей составляет от 60 до 3000 м³/ч.

Преимущества:

• Низкая стоимость владения
• Стойкость при откачке загрязненных сред, да-же содержащих мелкодисперсные твердые частицы
• Возможность откачки агрессивных сред
• Длительный срок службы
• Компактные габаритные размеры

Необходимость уменьшения энергопотребле­ния является одной из основных тем для обсужде­ния в области проектирования безмасляных ваку­умных насосов. В зависимости от технологическо­го процесса затраты на электроэнергию могут дос­тигать 60% от общего потребления в процессе про­изводства. Основные области применения насо­сов EV-S: откачка загрузочных камер, откачка ваку­умных камер сканирующих электронных микрос­копов, PVD-процессы. Использование насосов но­вой серии EV-Sпозволяет сократить потребление энергии в несколько раз.

В насосах серии EV-S использованы высокоэф­фективные электродвигатели, оптимизировано число ступеней сжатия, улучшена система управ­ления двигателем при помощи системы интел­лектуального контроля. Эти достоинства спосо­бствуют снижению расходов на эксплуатацию и повышению прибыльности для наших клиентов.

Преимущества:

• Низкое потребление энергии
• Отсутствие необходимости в потреблении азо¬та для чистых процессов
• Высокая коррозионная стойкость
• Насосы имеют сертификаты: ЕС, Националь-ной Поверочной Лаборатории полупроводни-ков, Международной организации полупро-водникового оборудования и материалов S2

Вакуумные насосы серии PDV - это переносные сухие вакуумные насосы, которые обеспечивают создание чистого и стабильного вакуума для полупроводниковой промышленности, в процессах нанесения тонких пленок, фотолитографии, биомедицинской и фармацевтической промышленности, а также при применении во всех отрас¬лях науки и техники, когда требуется чистый безмасляный вакуум. Сухие вакуумные насосы серии PDV имеют привлекательную стоимость и служат для замены спиральных насосов и масляных пластинчато-роторных насосов. Вакуумные насосы серии PDV не требуют частого технического обслуживания и имеют очень низкую стоимость владения, а наличие последовательного интерфейса позволяет контролировать параметры откачки через удаленный доступ. В отличие от спиральных насосов, насосы серии PDV не имеют в рабочей камере пар трения, следовательно, Вам не придется, как в спиральных насосах, менять уплотнения, а какое-либо загрязнение откачиваемого объема продуктами износа уплотнений конструктивно исключено.

Преимущества:

• Отсутствие партрения в рабочей камере
• Низкие энергопотребление и шум
• Воздушное охлаждение
• Встроенный обратный клапан на выхлопе
• Компактные габаритные размеры и вес
• Длительные интервалы между техническими обслуживаниями
• Переносная конструкция